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红表显微镜的利用

2024-12-04(5898)次浏览

  近红表成像使您可能对肉眼无法看到的电子元件进行显微镜检测 。以下是近红表成像在工业...

近红表成像使您可能对肉眼无法看到的电子元件进行显微镜检测 。以下是近红表成像在工业检测中的一些强有力的方式:

1.查抄晶圆水平芯片级封装(CSP)中的芯片败坏 。

晶圆水平芯片级封装是晶圆水平的集成电路封装 。使用显微镜的近红表成像可用于对热湿测试中出现的芯片败坏进行无损检测 。黄冈红表显微镜可能透过硅成像,因而您能够观察到熔炼泄漏、铜线侵蚀、树脂工件剥落以及其他问题 。

2.进行倒装芯片无损分析 。

顾名思义,倒装芯片是一种将芯片有效面积翻转,直接装置在基板、电路板或载体上的芯片封装步骤 。一旦倒装芯片被附着在工件上,就无法用可见光对芯片图案进行检测 。相比之下,黄冈红表显微镜使您可能透过硅对内部缺点进行查抄,不会对已装置的芯片造成粉碎 。这也是确定应进行聚焦离子束(FIB)处置区域的有效步骤 。

3.判断晶圆研磨量 。

晶圆研磨是一个半导体设备出产步骤,主张是降低晶圆厚度 。需通过研磨使设备变薄,因而对晶圆两面进行丈量的需要也相应增长 。然而,要丈量叠层晶圆两面的研磨量极度难题 。黄冈红表显微镜系统能够透过资料进行成像,在晶圆的正面和背面聚焦,使您可能获得大体距离 。而后,您能够通过丈量物镜的Z轴移动状态来判断研磨的水平 。

4.判断3D装置配置中的芯片缝隙 。

红表显微镜还能够协助进行硅缝隙治理 。三维(3D)装置配置中的芯片缝隙能够通过丈量红表光透过硅聚焦在芯片和中介层上时物镜的移动状态来进行无损判断 。这种步骤也可用于微电子机械系统设备的丈量和空心机关 。

5.对一系列高难度样品进行成像 。

可使用较大的波长的短波红表(SWIR)成像(如1300-1500纳米领域)对难度更高的样品进行成像,例如微电子机械系统设备、沉掺杂硅样品、表表粗糙的样品、晶圆粘结和3D芯片仓库 。这种步骤能够使用更敏感的成像系统,如砷化铟镓(InGaAs)摄像头 。在反射光或透射鲜明微镜下,专用红表物镜、高功率照明和InGaAs摄像头所带来的信号优势,让人们能够对难度更高的样品进行成像 。


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