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近红表光电系统检测晶片瑕疵

2021-11-15(8300)次浏览

  在可见光下无法捉拿到硅片表表的图像  。衔接一台近红表显微镜和一个近红表铟镓砷摄像机...

在可见光下无法捉拿到硅片表表的图像  。衔接一台近上海红表显微镜和一个近红表铟镓砷摄像机则能够突破这个限度,由此能够组成一个观测系统来检测晶片的瑕疵  。

铟镓砷探测器对近红表区和波携带域为900nm到1700nm的短波红表区的能量尤为敏感  。这一个性使得它在检测特定情况下的光电效应时功效卓越  。例如,铟镓砷探测器能够探测到集成电路中晶体管故障时发出的幽微光信号,从而等闲地发现故障  。


近红表NIR显微镜 芯片隐裂瑕疵红表无损检测

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